상품명 | TADC-251SZPA Z Piezo Assist Stage |
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상품 요약설명 | 메뉴얼 스테이지에 피에조 어시스트 메커니즘을 추가하여 20nm 이하의 미세 조정이 가능한 Z축 스테이지 |
판매가 | ¥67,500 |
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- 수동 스테이지 본체에 피에조 어시스트 기구를 추가하면 20nm 이하의 미동 조정을 할 수 있는 수직면 장착 타입의 Z축 스테이지입니다. - 고분해능에서의 위치 조정이 필요한 수동 스테이지 유닛이나 시스템에 매우 적합합니다. - 스테이지 크기 25x25, 40x40, 60x60, 65X65 mm를 갖추고 있습니다. - 피에조 어시스트 스테이지 전용 컨트롤러는 설정할 필요 없이 간편하게 미동 조정을 할 수 있습니다. - 다이얼식 노브의 미동 조정은, 마이크로 미터 헤드와의 병용으로도 저항 없이 사용할 수 있습니다. - 미동 기구의 조정에는, 피에조 어시스트 전용 컨트롤러(PASC)를 사용하십시오. - 피에조 어시스트 스테이지에는 피에조 어시스트 컨트롤러 전용 접속 케이블(2m)이 포함되어 있습니다. - 피에조 어시스트 기구가 파손될 우려가 있어서 스테이지 설치시 마이크로 앞으로 충격을 주지 않도록 주의해야 합니다. - 피에조 어시스트 전용 컨트롤러(PASC)의 전원을 OFF로 하면, 피에조 어시스트의 위치 조정이 변화하고, 미동 조정 분의 위치 차이가 발생합니다. |
Stage Size | 25×25mm |
Piezo resolution | <20nm |
Micrometer Readable Resolution | 0.01mm |
Micrometer Position | Side |
Moment Stiffness / Pitch | 6.0″/N・cm |
Guide Method | Extended Contact Ball Bearing Guide |
Travel Accuracy / Straightness | 3μm |
Running Parallelism | 20μm |
Lead of Actuator | 0.5mm |
Max. Moment Capacity / Pitch | 1.47N・m |
Max. Moment Capacity / Roll | 1.47N・m |
Weight | 0.07kg |
Primary material | Aluminum |
Travel of Coarse Drive | ±3mm |
Load Capacity | 9.8N(1.0kgf) |
Travel of Fine Drive | >25μm |
Finish | Black anodized |
상품명 | TADC-251SZPA Z Piezo Assist Stage |
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상품 요약설명 | 메뉴얼 스테이지에 피에조 어시스트 메커니즘을 추가하여 20nm 이하의 미세 조정이 가능한 Z축 스테이지 |
판매가 | ¥67,500 |
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