상품명 | FS-3150X Sub Micron Feedback Stage |
---|---|
상품 요약설명 | 서브미크론의 분해능으로 위치 결정을 할 수 있는 피드백 스테이지 입니다. |
판매가 | ¥680,000 |
국내/해외배송 | 해외배송 |
배송비방법 | 택배 |
배송비 | 해외배송비 |
관련상품수 | 0 |
배송 | |
---|---|
수량 |
|
상품 정보 | 가격 | 삭제 |
---|
할인가가 적용된 최종 결제예정금액은 주문 시 확인할 수 있습니다.
한글카탈로그
|
- 서브미크론의 분해능으로 위치 결정을 할 수 있는 피드백 스테이지 입니다. - 위치 검출은 자체 개발한 광학식 리니어 인코더를 스테이지 중앙에 내장했습니다. - 이 인코더의 위치 정보를 사용하여 피드백 제어를 하면 목표 위치로의 위치 결정, 반복 위치 결정(위치 재현성), 위치 결정 유지가 고분해능으로 가능합니다. - 이동량은 7 종류 라인 업으로 400mm, 300mm, 200mm, 150mm, 100mm, 50mm, 20mm입니다. - 이동량이 크기 때문에 광범위하게 데이터를 취득하고 싶은 경우나 샘플의 정밀한 위치 결정과 이동을 1대의 스테이지에서 실시하고 싶은 경우에 최적입니다. |
Stage Size | 120×170mm |
Driving Motor | □28mm 5 phase stepping motor |
Maximum Travel Speed | 10μm |
Positioning Slide | LM Guide |
Travel | 150mm |
Positional Repeatability *1 FC-411 | ±100nm |
Positional Repeatability *1 FC-414 | - |
Minimum Resolution *1 FC-411 | 50nm |
Minimum Resolution *1 FC-414 | - |
Availability | 10mm/sec |
Weight | 2.8㎏ |
Feed Screw | Ball screw diameter φ8mm |
Load Capacity | 98N(10kgf) |
상품명 | FS-3150X Sub Micron Feedback Stage |
---|---|
상품 요약설명 | 서브미크론의 분해능으로 위치 결정을 할 수 있는 피드백 스테이지 입니다. |
판매가 | ¥680,000 |
국내/해외배송 | 해외배송 |
배송비방법 | 택배 |
배송비 | 해외배송비 |
관련상품수 | 0 |