상품명 | NFS60-20X 50nm Feedback Stage |
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상품 요약설명 | 5상 스테핑 모터, 내장 글라스 스케일이 포함된 고해상도 피드백 스테이지로 내장된 광학 글라스 스케일은 높은 위치 반복성과 고해상도를 제공합니다. |
판매가 | ¥320,000 |
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배송비방법 | 택배 |
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관련상품수 | 0 |
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- 5상 스테핑 모터, 내장 글라스 스케일이 포함된 고해상도 피드백 스테이지로 내장된 광학 글라스 스케일은 높은 위치 반복성과 고해상도를 제공합니다. - 50nm 피드백 단계는 8가지 테이블 크기로 제공됩니다. - 볼 나사 드라이브는 피에조 스테이지보다 긴 이동이 가능하며, 다양한 이동 및 테이블 크기를 선택할 수 있습니다. - 사용자 편의를 위해 "Autoconfig" 기능을 위한 플러그인이 장착되어 있고, 피드백 단계(NFS 시리즈)와 호환되는 컨트롤러를 사용할 수 있습니다. - Feedback Stage(NFS 시리즈)와 호환되는 컨트롤러(SHRC-203)를 사용합니다. - 샘플 소프트웨어는 자료실에서 다운 받을 수 있습니다. --> 자료실 가기 - 작동 시 온도 변동이 적은 환경에서 사용(권장치 : 23±1℃)하고, 진동이 적은 환경에서 제품을 사용하십시오. - 오일 미스트가 없는 환경에서 사용하지 않으면 글라스 스케일이 오염되어 스케일 오류가 발생할 수 있습니다. - 테이블 표면의 크기보다 큰 작업물을 장착하려면 문의하시길 바랍니다. |
Stage Material | Aluminium |
Stage Size | 60x60mm |
Backlash | 1μm |
Pitch | 15″ |
Moment Stiffness / Pitch | 0.5″/N・cm |
Moment Stiffness / Yaw | 0.5″/N・cm |
Moment Stiffness / Roll | 0.5″/N・cm |
Yaw | 15″ |
Lost Motion | 0.5μm |
Positioning Accuracy | 1μm *2 |
Positioning Slide | Crossed roller |
Travel | 20mm |
Positional Repeatability | 0.5μm *2 |
Minimum Incremental Motion (reference) | 150nm |
Weight | 0.5kg |
Running Parallelism | 10μm |
Feed Screw | Ball screw diameter φ4mm, 1mm lead |
Load Capacity | 49N(5.0kgf) |
Finish | Black anodized |
Resolution (Full) | 2μm/pulse *1 |
Resolution (Half) | 1μm/pulse *1 |
Parallelism | 50μm |
Motor / Motor Type | 5-phase stepping motor 0.35A/phase(Oriental Motor Co., Ltd.) |
Motor / Motor Part Number | PK523PMB-C5(□28mm) |
Scale Resolution | 50nm |
Micro-range Bi-directional Repeatability | ±100nm *3 |
상품명 | NFS60-20X 50nm Feedback Stage |
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상품 요약설명 | 5상 스테핑 모터, 내장 글라스 스케일이 포함된 고해상도 피드백 스테이지로 내장된 광학 글라스 스케일은 높은 위치 반복성과 고해상도를 제공합니다. |
판매가 | ¥320,000 |
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배송비방법 | 택배 |
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