상품명 | HDS-60YAW 내구성 자동 회전스테이지 |
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상품 요약설명 | 반도체 웨이퍼의 마카 등의 얼라인먼트에 사용하는 미세 각 조정용 자동 회전 스테이지입니다. |
판매가 | ¥140,000 |
국내/해외배송 | 해외배송 |
배송비방법 | 택배 |
배송비 | 해외배송비 |
관련상품수 | 0 |
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- 시료마다 미세한 회전 각도를 조정하는 자동 얼라인먼트 장치 등의 용도에 매우 적합합니다.
- 시그마코키사의 Ball Screw System Drive Mechanism으로 마모 및 백래시를 줄여 높은 내구성을 높이게 됩니다. - 스틸벨트를 이용하여 Ball Screw의 선형운동을 회전운동으로 변환하기 때문에 전 이동범위에서 각도와 해상도가 동일합니다. - HDS 시리즈의 원점 센서는 스트로크의 중심(0°) 부근에 있습니다. - HDS 시리즈는 항상 수평면에 설치하여 사용해야 합니다. 거꾸로 설치하거나 수직면에 장착했을 경우는, 성능을 보증할 수 없습니다. |
Stage Size | φ60mm |
Stage Material | Aluminium |
Sensor Part Number | Micro photo sensor : GP1S097HCZ(Sharp Corporation) |
Backlash | 0.05° |
Resolution (Half) | about 0.0027°/pulse |
Resolution (Full) | about 0.0053°/pulse |
Moment Stiffness | 1″/N・cm |
Limit Sensor | Equipped (NORMAL CLOSE) |
Lost Motion | 0.003° |
Positioning Accuracy | 0.05° |
Positioning Slide | Bearing method |
Travel Mechanism | Ball screw with steel belt |
Rotation Range | ±5° |
Proximity Origin Sensor | None |
Positional Repeatability | 0.003° |
Origin Sensor | Equipped (NORMAL OPEN) |
Minimum Incremental Motion (refurence) | 0.5mdeg |
Weight | 0.5kg |
Load Capacity | 29.4N(3.0kgf) |
Concentricity | 10μm |
Finish | Black anodized |
Parallelism | 50μm |
Wobble | 0.01mm |
Sensor / Output Logic | 遮光時 : 出力トランジスタOFF(非導通):リミットセンサ |
遮光時:出力トランジスタON(導通):原点センサ | |
Sensor / Current Consumption | 60mA以下(1センサあたり20mA以下) |
Sensor / Control Output | NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下 |
Sensor / Power Voltage | DC5~24V±10% |
Motor / Motor Step Angle | 0.72° |
Motor / Motor Type | HDS-60YAW:5相ステッピングモータ 0.75/相 (多摩川精機㈱) |
HDS-80YAW、HDS-120YAW:5相ステッピングモータ 0.75A/相 (オリエンタルモーター㈱) | |
Motor / Motor Part Number | HDS-60YAW:TS3664N4E10(□24mm) |
HDS-80YAW、HDS-120YAW:PK523HPB-C12(□28mm) | |
Compatible Controller | GSC-01、GIP-101、GSC-02、SHOT-702、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103 |
Compatible Driver | SG-5M、SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL |
상품명 | HDS-60YAW 내구성 자동 회전스테이지 |
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상품 요약설명 | 반도체 웨이퍼의 마카 등의 얼라인먼트에 사용하는 미세 각 조정용 자동 회전 스테이지입니다. |
판매가 | ¥140,000 |
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