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OSMS33-500(Z)-M6 OSMS33 Z 스테이지

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상품명 OSMS33-500(Z)-M6 OSMS33 Z 스테이지
상품 요약설명 고강성, 고정밀이 요구되는 계측 장치나 검사 장치의 위치 결정에 최적인 스테핑 모터 구동 스테이지입니다.
판매가 ¥338,000
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특징
- 레일의 형상은 U자형으로 경량화를 도모하고 굴곡을 최소화한 고강성 사양입니다.
- 모터 교환 등을 희망하시는 경우는 영업점에 문의해 주십시오.
- 그리스 변경은 옵션에서 대응 가능합니다.
- X축을 구입하신 후, Z축으로 사용할 경우에는, 조립조정비와 성능검사 비용으로 별도 비용이 듭니다.

상세 사양

 
Stage Size120×120mm
MAX Speed30mm/sec
Stage MaterialAluminium
Sensor Part NumberMicro photo sensor : GP1S092HCPIF(Sharp Corporation)
Backlash3μm
Pitch50″
Moment Stiffness / Pitch0.2″/Ncm
Moment Stiffness / Yaw0.15″/Ncm
Moment Stiffness / Roll0.15″/Ncm
Yaw25″
Limit SensorEquipped (NORMAL CLOSE)
Lost Motion5μm
Positioning Accuracy50μm
Positioning SlideOuter rail structure
Travel500mm
Perpendicularity of Motion35μm
Proximity Origin SensorEquipped (NORMAL OPEN)
Positional Repeatability6μm
Origin SensorEquipped (NORMAL OPEN)
Weight17.3kg
Feed ScrewBall screw diameter φ10mm, 10mm lead
Load Capacity58.8(6.0kgf)
FinishBlack anodized
Resolution (Full)20μm/pulse
Resolution (Half)10μm/pulse

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상품명 OSMS33-500(Z)-M6 OSMS33 Z 스테이지
상품 요약설명 고강성, 고정밀이 요구되는 계측 장치나 검사 장치의 위치 결정에 최적인 스테핑 모터 구동 스테이지입니다.
판매가 ¥338,000
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