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VSGSP-120YAW 진공 자동 회전 스테이지

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상품 상세 정보
상품명 VSGSP-120YAW 진공 자동 회전 스테이지
상품 요약설명 진공 환경에 대응하는 자동 회전 스테이지입니다.
판매가 ¥520,000
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특징
- 진공 환경에 대응하는 자동 회전 스테이지입니다.
- φ60mm의 공간 절약에 대응한 소형 타입은 실험용, 검사 장치의 챔버 내에서 사용에 매우 적합합니다.
- φ120mm는 진공 환경에 대응하는 리미트 센서를 탑재했고, 슬림형이면서도 □42mm 대형 모터를 채택하여 높은 내하중을 실현합니다.

상세 사양
 
Stage Sizeφ120mm
MAX Speed20°/sec
Positional Repeatability0.02°
Axes of TravelX Axis
Stage MaterialAluminium
Censer typeGN-PT5M3B-1 (Metrol Co., Ltd.)
Resolution (Full)0.005°/pulse
Resolution (Half)1μm/pulse
Limit SensorVacuum touch sensor (NORMAL CLOSE)
Lost Motion0.05°
Positioning SlideCrossed roller
Travel MechanismWorm and worm wheel
Rotation RangeCounterclockwise CCW direction to ∞, Clockwise CW direction stops at near 0 degree (−2.5°)
Proximity Origin SensorNone
Origin SensorNone
Minimum Incremental Motion (refurence)0.5mdeg
Weight1.7kg
Feed ScrewPrecision ground screw φ4mm, 0.5mm lead
Load Capacity29.4N(3.0kgf)
FinishNone
Resolution (Half)0.0025°/pulse
Resolution (Full)0.5μm/pulse
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상품명 VSGSP-120YAW 진공 자동 회전 스테이지
상품 요약설명 진공 환경에 대응하는 자동 회전 스테이지입니다.
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