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특징
- 35~200mm의 롱 스트로크를 실현하여, 기존의 SGSP시리즈와 동일하게 콤팩트화를 실현했습니다.
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상세 사양
| Model | VSGSP26-85(X) |
| MAX Speed | 10mm/sec |
| Positional Repeatability | 5μm |
| Axes of Travel | X Axis |
| Stage Material | Aluminium |
| Censer type | GN-PT5M3B-1 (Metrol Co., Ltd.) |
| Sensor Part Number | GN-PT5M3B-1 (Metrol Co., Ltd.) |
| Stage Size | 60×60mm |
| Resolution (Half) | 1μm/pulse |
| Resolution (Full) | 2μm/pulse |
| Limit Sensor | Vacuum touch sensor (NORMAL CLOSE) |
| Lost Motion | 3μm |
| Positioning Slide | Crossed roller |
| Travel | 85mm |
| Proximity Origin Sensor | None |
| Origin Sensor | None |
| Minimum Incremental Motion (refurence) | 0.2μm |
| Weight | 1.1kg |
| Feed Screw | Precision ground screw φ4mm, 0.5mm lead |
| Load Capacity | 29.4N(3.0kgf) |
| Finish | None |
| Resolution (Full) | 0.5μm/pulse |
| Resolution (Half) | 1μm/pulse |
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