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- 메뉴얼 스테이지에 피에조 어시스트 메커니즘을 추가하여 20nm 이하의 미세 조정이 가능한 X축 스테이지
- 고해상도 위치 조정이 필요한 메뉴얼 스테이지 장치 및 시스템에 적합합니다. - 스테이지의 크기는 25, 40, 60, 65mm입니다.전용 컨트롤러로 별도의 설정 없이 쉽게 미세 조정이 가능합니다. - 다이얼 타입의 노브 미세조정은 마이크로미터 헤드와 함께 사용이 가능합니다. - 피에조 보조 컨트롤러(PASC)를 사용하여 미세 조정이 가능하지만 충격에 주의해야 합니다. - 전용 컨트롤러의 전원이 꺼지면 피에조 어시스트의 위치 조정이 변경되고 미세 조정을 위한 위치가 변경됩니다. |
Stage Size | 60×60mm |
Orthogonality | 10μm |
Piezo resolution | <20nm |
Micrometer Readable Resolution | 0.01mm |
Micrometer Position | Side |
Moment Stiffness / Pitch | 0.6″/N・cm |
Moment Stiffness / Roll | 0.6″/N・cm |
Guide Method | Extended Contact Ball Bearing Guide |
Travel Accuracy / Straightness | 3μm |
Running Parallelism | 20μm |
Lead of Actuator | 0.5mm |
Max. Moment Capacity / Pitch | 4.9N・m |
Max. Moment Capacity / Yaw | 4.9N・m |
Max. Moment Capacity / Roll | 4.9N・m |
Weight | 0.5㎏ |
Primary material | Aluminum |
Travel of Coarse Drive | ±6.5mm |
Load Capacity | 49N(5kgf) |
Travel of Fine Drive | >30μm |
Finish | Black anodized |
Parallelism | 50μm |