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- 고강성 고정밀에 대응한 계측 검사용 Z축 스테핑 모터 자동 스테이지입니다.
- 상하로 이동하는 스테이지면은 수평으로 원활한 이동을 얻을 수 있습니다. - 돌출부분을 최대한 억제하여 장치 삽입 용도에도 매우 적합합니다. - 시그마코키사의 독자적인 공간 절약 설계로 콤팩트한 수평면 Z축 스테이지입니다. |
Stage Size | 80×80mm |
MAX Speed | 1mm/sec |
Stage Material | Aluminium |
Sensor Part Number | Micro photo sensor : PM-U24(SUNX Co., Ltd.) : Limit sensor |
Pitch | 25″ |
Moment Stiffness / Pitch | 0.2″/N・cm |
Moment Stiffness / Yaw | 1″/N・cm |
Moment Stiffness / Roll | 1″/N・cm |
Limit Sensor | Equipped (NORMAL CLOSE) |
Lost Motion | 5μm |
Positioning Slide | Outer rail structure |
Travel | 20mm |
Proximity Origin Sensor | None |
Positional Repeatability | 5μm |
Origin Sensor | None |
Minimum Incremental Motion (refurence) | 0.05μm |
Weight | 1.6kg |
Running Parallelism | 15μm |
Feed Screw | Ball screw diameter φ8mm, 2mm lead |
Load Capacity | 147N(15.0kgf) |
Finish | Black anodized |
Resolution (Full) | 0.2μm/pulse |
Resolution (Half) | 0.1μm/pulse |
Parallelism | 50μm |