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- 대물 렌즈용 파인 액추에이터 - 액추에이터에 피에조 소자와 피드백용으로 디지털 센서를 탑재한 현미경형 대물 렌즈용 액추에이터입니다. - 정립형 현미경용으로는 SFS-OBL을 사용하고, 도립 현미경용으로는 SFAI-OBL을 사용합니다. - 소형으로 고속, 고분해능 위치 결정이 가능합니다. - 이동량은 Open하여 100μm ± 15%입니다. Closed Loop제어 시에는 이동량이 20% 저감됩니다. - 각종 현미경으로의 임베디드를 고려하여 정립형 2종류와 도립형을 준비하고 있습니다. - 시그마 정밀(파인) 스테이지 시리즈와 같이 컨트롤러(FINE-01γ/503 (CL))로 구동할 수 있습니다. - RS232C, GP-IB(FINE-503(CL)만 해당), USB 인터페이스를 지원합니다. - PC에서 계측 및 제어 소프트웨어인 SGADVANCE를 사용하여 간단히 위치를 제어할 수 있습니다. - 각 메이커의 대물렌즈 나사 사이즈에 맞추어 어댑터도 준비되어 있습니다. - SFS-OBL-2는, 금속 봉입 타입의 피에조 액튜에이터를 채용하여 SFSOBL-1에 비해 습도 등 내환경 성능이 향상되었습니다. - Closed Loop시 이동량은, Open Loop시보다 약 20% 저감됩니다. |
A | M26.0 P=0.706(W26.0×1/36)
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B | 21mm |
Mounting Screw Size | Microscope side M26.0 |