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특징
- 대형 (φ33mm) 고화소 카메라를 지원하는, 광시야 고NA 대물 렌즈입니다.SWIR 영역(900-1700nm)에서 사용할 수 있습니다.
- 900-1700nm 이상의 해당 선명한 이미지는 필드 깊이 내에서 얻을 수 있습니다.
- PAL-10-SWIR-HRWF-Si0520과 PAL-10-SWIR-HRWF-Si0775는 실리콘 웨이퍼의 하부를 관찰하기 위한 대물렌즈입니다.
- 실리콘 웨이퍼의 두께(0.52mm, 0.775mm)에 따른 수차가 보정됩니다.
- 광시야 고NA에 대응한 관찰경통(OUCI-SWIR-HRWF)이 준비되어 있습니다.
- PAL-1-SWIR-HRWF와 PAL-2.5-SWIR-HRWF를 동축낙사조명으로 사용하였을 때 플레어가 문제될 수 있습니다.
- 전용 파장판유닛(WP-SWIR1(*X), WP-SWIR2(*X)를 부착하고 관찰경통(OUCI-SWIR-HRWF)에도 편광필터를 내장하여 플레어를 줄일 수 있습니다.

상세 사양
Numerical aperture (NA)0.61
Actual field of viewφ3.3 mm image circleφ33mm
Item nameM Plan Apo SWIR HRWF Si0520 10x
Working distance (WD)10 mm calculated as air
Weight0.72 kg
Focal length f20 mm
Focal depth±1.7 μm wavelength 1.3μm
Magnification10x
Resolution1.1 μm wavelength 1.3μm