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- 대형 (φ33mm) 고화소 카메라를 지원하는, 광시야 고NA 대물 렌즈입니다.SWIR 영역(900-1700nm)에서 사용할 수 있습니다. - 900-1700nm 이상의 해당 선명한 이미지는 필드 깊이 내에서 얻을 수 있습니다. - PAL-10-SWIR-HRWF-Si0520과 PAL-10-SWIR-HRWF-Si0775는 실리콘 웨이퍼의 하부를 관찰하기 위한 대물렌즈입니다. - 실리콘 웨이퍼의 두께(0.52mm, 0.775mm)에 따른 수차가 보정됩니다. - 광시야 고NA에 대응한 관찰경통(OUCI-SWIR-HRWF)이 준비되어 있습니다. - PAL-1-SWIR-HRWF와 PAL-2.5-SWIR-HRWF를 동축낙사조명으로 사용하였을 때 플레어가 문제될 수 있습니다. - 전용 파장판유닛(WP-SWIR1(*X), WP-SWIR2(*X)를 부착하고 관찰경통(OUCI-SWIR-HRWF)에도 편광필터를 내장하여 플레어를 줄일 수 있습니다. |
Numerical aperture (NA) | 0.61 |
Actual field of view | φ3.3 mm image circleφ33mm |
Item name | M Plan Apo SWIR HRWF Si0520 10x |
Working distance (WD) | 10 mm calculated as air |
Weight | 0.72 kg |
Focal length f | 20 mm |
Focal depth | ±1.7 μm wavelength 1.3μm |
Magnification | 10x |
Resolution | 1.1 μm wavelength 1.3μm |