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- 10nm 분해능으로 위치 결정을 할 수 있는 피드백 스테이지 입니다. - 이동량이 크기 때문에 광범위하게 데이터를 취득하고 싶은 경우나 샘플의 정밀한 위치 결정과 이동을 1대의 스테이지에서 실시하고 싶은 경우에 최적입니다. - FS-UPX 시리즈는 고속 타입, FS-SPX 시리즈는 고토크 타입으로 동작합니다. - 위치의 검출에는 시그마코키사에서 개발한 광학식 리니어 인코더를 스테이지 중앙에 내장하고 있습니다. - 인코더의 위치 정보를 사용하여 피드백 제어를 하면 목표 위치로의 위치 결정, 반복 위치 결정(위치 재현성), 위치 결정 유지가 고분해능으로 가능합니다. - 이동량은 20mm, 50mm, 100mm, 150mm, 200mm 다섯 가지 타입으로 구성되어 있습니다. |
Stage Material | Aluminium |
Stage Size | 175x100mm |
Backlash | 1μm |
Pitch | 15″ |
Moment Stiffness / Pitch | 0.05″/N・cm |
Moment Stiffness / Yaw | 0.05″/N・cm |
Moment Stiffness / Roll | 0.05″/N・cm |
Yaw | 15″ |
Lost Motion | 0.5μm |
Positioning Accuracy | 2μm *2 |
Positioning Slide | Crossed roller |
Travel | 100mm |
Positional Repeatability | 0.5μm *2 |
Minimum Incremental Motion (reference) | 30nm |
Weight | 3.7kg |
Running Parallelism | 10μm |
Feed Screw | Ball screw diameter φ8mm, 1mm lead |
Load Capacity | 98N(10.0kgf) |
Finish | Black anodized |
Resolution (Full) | 2μm/pulse *1 |
Resolution (Half) | 1μm/pulse *1 |
Parallelism | 50μm |
Motor / Motor Type | 5-phase stepping motor 0.75A/phase(Oriental Motor Co., Ltd.) |
Motor / Motor Part Number | PK545NBW (□42mm) |
Scale Resolution | 10nm |
Micro-range Bi-directional Repeatability | ±20nm *3 |