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| - XYZ축 스테인리스 스틸 리니어 스테이지는 하드 진공 및 클린룸 적용에 적합합니다.
- TSD 단계와 동일한 디자인과 성능을 제공하고, 내부식성이 우수한 스테인리스 스틸로 완전히 제작되었습니다. - 스테이지와 스테인리스 스틸 마이크로미터 헤드는 모두 고급 진공 그리스로 윤활됩니다 - 이 스테이지 타입은 뒤집어서 사용하기에 적합하지 않습니다. 이 상태에서는 모든 하중이 스프링에 당길 것입니다. - 피벗 메커니즘을 사용하여 수평 운동을 수직 운동으로 전달합니다. - 이 메커니즘은 마이크로미터가 움직이는 거리와 스테이지 플랫폼이 움직이는 거리 사이에 작은 비선형성을 유도합니다. |
상세 사양
| Stage Size | 40×40mm |
| Micrometer Readable Resolution | 0.01mm |
| Micrometer Position | Side |
| Moment Stiffness / Pitch | 1.26″/N･cm |
| Guide Method | Extended Contact Ball Bearing Guide |
| Travel Accuracy / Straightness | 1μm |
| Travel | XY axis : ±6.5mm Z axis : ±6.5mm |
| Lead of Actuator | 0.5mm |
| Max. Moment Capacity / Pitch | 3.9N･m |
| Max. Moment Capacity / Roll | 3.9N･m |
| Weight | 0.6kg |
| Primary material | Stainless steel |
| Load Capacity | 49N(5.0kgf) |
| Finish | None |