- 시그마 파인 스테이지(고강성 타입) - 디지털 센서를 채택하여 고정밀, 고강성, 하이 스피드를 추구하여 이론 분해능 1nm의 미동을 실현하는 피에조 스테이지입니다. - 디지털 센서를 채택하여 Full-Closed 제어가 가능하므로 고정밀, 고분해능 위치 결정 가능한 피에조 스테이지입니다. - 피에조 소자를 액추에이터로 채택하여 오픈 제어로 이동량 90μm~100μm, 이론분해능 1nm의 미동을 실현합니다. - 폐쇄제어 시에는 이동량이 20% 저감됩니다. - 위치 검출 센서에 디지털 센서(주파수→디지털 변환 방식 미소 변위 센서)를 채택하여 풀 클로즈돌프 제어 시 표시 분해능은 10nm입니다. - 시그마코키사의 컨트롤러 FINE 시리즈를 사용하여 고속화를 실현할 수 있습니다. - 반복 주파수는 SFS-H(직동)에 있어서, 반복 주파수 10~15Hz를 실현 FINE-01γ의 아날로그 입력을 이용하면 25Hz를 실현합니다.
상세 사양
Actuator
Piezo actuator
Axes of Travel
Z Axis
Stage Size
60×60mm
Linearity
<0.3%
Travel (at open-loop control)
100μm±15%
Positional Repeatability
<0.1μm
Weight
0.33kg
Perpendicularity (Horizontal Direction)
1μm
Compatible Cable
FINE-CA-3: For piezo
DS1-CA-3: For digital sensor
Load Capacity
9.8N(1.0kgf)
Micro-displacement Sensor
Digital Sensor
Resolution (closed-loop)
10nm
Theoretical Resolution (open-loop
1nm
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