- AC 서보 모터 구동의 고정밀, 고강성 스테이지입니다.
- 일체형 볼나사가 있는 U자형 레일은 경량화를 제공하며, 높은 강성을 위해 처짐을 최소화합니다.
상세 사양
Stage Size
80×80mm
MAX Speed
130mm/sec
With Scale
有
Stage Material
Aluminium
Sensor Part Number
Micro photo sensor : PM-L25(SUNX Co., Ltd.)
Backlash
2μm
Pitch
30″
Moment Stiffness / Pitch
0.23″/N・cm
Moment Stiffness / Yaw
0.12″/N・cm
Moment Stiffness / Roll
0.2″/N・cm
Yaw
25″
Limit Sensor
Equipped (NORMAL CLOSE)
Lost Motion
2μm
Positioning Accuracy
10μm
Positioning Slide
Outer rail structure
Travel
100mm
Proximity Origin Sensor
None
Positional Repeatability
5μm
Origin Sensor
None
Weight
1.7kg
Running Parallelism
10μm
Feed Screw
Ball screw diameter φ8mm, 2mm lead
Load Capacity
130N(13.0kgf)
Finish
Black anodized
Resolution (Full)
4μm/pulse
Resolution (Half)
2μm/pulse
Parallelism
50μm
Sensor / Output Logic
遮光時 : 出力トランジスタOFF(非導通)
Sensor / Current Consumption
30mA以下(1センサあたり15mA以下)
Sensor / Control Output
NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下
Sensor / Power Voltage
DC5~24V±10%
Motor / Resolution Encoder
20bit(1,048,576p/r)
Motor / Motor Type
AC servo motor 11W
(YASKAWA Electric Corporation
)
Motor / Rated Torque
0.0350N・m
Motor / Motor Part Number
SGM7MA1E3A21
(□25mm)
Type of Axis
X軸
Compatible Controller
PGC-04-U
Compatible Driver
SGDV-2R9EP1A
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