- 면 정밀도를 보증하는 미러로 기판의 재질 및 두께와 코팅 조건을 최적화하여 고면 정밀 미러를 실현했습니다. - 코팅 후 면 정밀도 λ/10을 보증합니다. - 본 제품은 표준 유전체 다층 평면 미러(TFM)보다 표면 정밀도(코팅 후)가 높은 것이 특징입니다. - 기판에 합성석영을 사용하여 기판의 두께를 두껍게 함으로써 기판의 강성이 높아집니다. - 자외 레이저나 YAG 레이저의 각 파장에 대응한 고반사율의 미러를 라인 업 하고 있습니다. - 홀더에 미러를 접착하고, 면 정밀도를 보증한 HTFM-MHG도 준비되어 있습니다.(WEB 참조/카탈로그 코드 W3003) - 카탈로그 이외의 크기와 파장 특성의 미러도 제작 가능하니, 문의하여 주시길 바랍니다. - 각종 특성 그래프의 수치 데이터는 위의 로 데이터를 참고해주세요. (참고 데이터, EXCEL 파일형식) - 제품에는 면 정밀도 보증 데이터는 제품에 첨부되지 않습니다. 정밀도 보증 데이터의 서류가 필요한 경우는 별도 데이터 작성 비용이 듭니다. - 유전체 다층막은 입사빔의 편광상태에 따라 반사율 파장 특성이 다르다. P편광의 반사율은 S편광의 반사율보다 낮고 반사대역도 좁다. - 반사율 사양은, P 편광과 S 편광 반사율의 평균치로 나타내고 있습니다. - 입사 각을 45° 로 설정하지 않고 사용할 경우, 반사율이 낮아질 수 있습니다. - 해당 파장에서 사용하지 않을 경우 반사율이 낮아질 수 있습니다.
상세 사양
Laser Damage Threshold
2J/cm2
Thickness t
8mm
Coating
Dielectric multi-layer coating
Surface Quality (Scratch-Dig)
10−5
Wavelength Range
266nm
Reflectance
>99.2%
Diameter φD
φ30mm
Incident angle
45°±3°
Parallelism
<3′
Clear aperture
80% of the diameter
Rear surface
Polished
Surface flatness after coating
λ/10
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