- 5상 스테핑 모터, 내장 글라스 스케일이 포함된 고해상도 피드백 스테이지로 내장된 광학 글라스 스케일은 높은 위치 반복성과 고해상도를 제공합니다. - 50nm 피드백 단계는 8가지 테이블 크기로 제공됩니다. - 볼 나사 드라이브는 피에조 스테이지보다 긴 이동이 가능하며, 다양한 이동 및 테이블 크기를 선택할 수 있습니다. - 사용자 편의를 위해 "Autoconfig" 기능을 위한 플러그인이 장착되어 있고, 피드백 단계(NFS 시리즈)와 호환되는 컨트롤러를 사용할 수 있습니다. - Feedback Stage(NFS 시리즈)와 호환되는 컨트롤러(SHRC-203)를 사용합니다.
- 작동 시 온도 변동이 적은 환경에서 사용(권장치 : 23±1℃)하고, 진동이 적은 환경에서 제품을 사용하십시오. - 오일 미스트가 없는 환경에서 사용하지 않으면 글라스 스케일이 오염되어 스케일 오류가 발생할 수 있습니다. - 테이블 표면의 크기보다 큰 작업물을 장착하려면 문의하시길 바랍니다.
상세 사양
Travel
100mm
Stage Size
175x100mm
Feed Screw
Ball screw diameter φ8mm, 1mm lead
Positioning Slide
Crossed roller
Stage Material
Aluminium
Finish
Black anodized
Weight
3.7kg
Resolution (Full)
2μm/pulse*1
Resolution (Half)
1μm/pulse*1
MAX Speed
10mm/sec
Positioning Accuracy
2μm *2
Positional Repeatability
0.5μm *2
Micro-range Bi-directional Repeatability
±100nm *3
Minimum Incremental Motion (reference)
150nm
Load Capacity
98N(10.0kgf)
Moment Stiffness / Pitch
0.05″/N・cm
Moment Stiffness / Yaw
0.05″/N・cm
Moment Stiffness / Roll
0.05″/N・cm
Lost Motion
0.5μm
Backlash
1μm
Parallelism
50μm
Running Parallelism
10μm
Pitch
15″
Yaw
15″
Motor / Motor Type
5-phase stepping motor 0.75A/phase(Oriental Motor Co., Ltd.)
Motor / Motor Part Number
PK545NBW(□42mm)
Scale Resolution
50nm
*1 Resolution is automatically set by “AutoConfig” when SHRC controller is connected. *2 Values when the multi-point error compensation function is enabled. *3 Micro-range Bi-directional Repeatability is a test to measure repetitive positioning accuracy (ISO) in a micro range. Measurement step for 1 nm feedback stage (NFS-UPX series): 5 nm
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