- 알루미늄 재질의 스테이지에 크로스 롤러 가이드를 사용한 스테이지 면이 직사각형의 경량으로 고정밀 스테이지입니다.
- 구동은 나사 이송 방식(2mm 피치)으로 조정 핸들을 사용하여 적은 부하로 부드럽게 단계를 이동시킬 수 있습니다.
- 표준 타입은 스테이지 측면에 최소 판독 1mm 스케일 포함, 핸들 측에 1회전 100분할 스케일 포함(최소 판독 20μm)입니다.
- TAMC-20201(LS)는, □180mm와 □175mm 두 홀 패턴을 지원하므로, 25mm 피치의 정반에 직접 설치할 수 있습니다.
- 품번 끝에 LS와 LSA 타입인 것은, 디지털 표시 스케일을 사용한 것으로, 최소 판독은 10μm입니다.
- 디지털 표시 스케일에는, 리셋 기능과 전원 OFF 해도 직전의 수치를 기억하고 있는 기능(OFF 로 하기 직전의 수치를 재표시)이 있습니다.
상세 사양
Stage Size
200×200mm
Handle Position
Center
Moment Stiffness / Pitch
0.036″/N･cm
Moment Stiffness / Yaw
－
Moment Stiffness / Roll
0.026″/N･cm
Guide Method
Crossed roller
Travel Accuracy / Pitch
60″
Travel Accuracy / Yaw
25″
Travel Accuracy / Straightness
4μm
Running Parallelism
25μm
Travel
±50mm
Lead of Actuator
2.0mm
Max. Moment Capacity / Pitch
112N･m
Max. Moment Capacity / Yaw
113N･m
Max. Moment Capacity / Roll
119N･m
Readable resolution
0.02mm
Weight
3.5kg
Primary material
Aluminum
Load Capacity
1176N(120.0kgf)
Finish
Black anodized
Parallelism
100μm
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